МЭМС датчик МЭМС МЭМС МЭМС МЭМС

Производство цифровых приборов измерения параметров газовых сред на основе МЭМС датчиков.

ООО Тепловые микросистемы.

Главная

Коллектив фирмы проводил систематические исследования в области тепловых МЭМС начиная с 1992 года. Эти работы привели к созданию различных датчиков, обладающих длительной стабильностью и чувствительностью к изменению температуры на уровне 0,01-0,0001К. Испытания тепловых МЭМС в составе различных приборов измерения параметров газовых сред выявили настолько существенные преимущества по метрологическим параметрам, что имеются основания говорить о новом их поколении. Приборы включают в себя помимо чувствительного модуля (МЭМС датчик) систему газораспределения, схему автоматического регулирования, цифровой обработки, температурной компенсации. Фирма готова удовлетворить разнообразные требования заказчиков, включая диапазон измерения, точность, быстродействие, при том условии, что по надежности, габаритам, энергопотреблению приборы превосходят современные аналоги.

Продукция

Разработки

Публикации

Контакты

Яндекс цитирования

 

цифровой регулятор расхода газа   вакуумметр   датчик расхода газа до 3л/мин   датчик расхода газа до 700л/мин   течеискатель